會議回顧-衛利攜《光罩製程中氣體顆粒監測》精彩展示

2025年05月28日 15:00 江蘇

2025年5月28日第2屆光罩與光阻劑產業論壇在上海順利舉行

關於會議

此次會議將彙聚光罩及光阻劑行業的領軍企業、機構的技術和市場專家，探討中國光罩產業的技術進展、市場機遇與挑戰，以及產業前景展望

在會議期間，衛利國際科貿（上海）有限公司攜《光罩製程中氣體顆粒監測》報告進行精彩演示。

精彩現場

衛利集團聚焦微污染管控和靜電防護，結合行業中“光散射原理”、“凝結核原理”、“視覺/動態圖像偵測”等測試原理和方法，深耕半導體產業中的顆粒和Precursor測試。

1.使用Reticle型偵測設備對光罩製程腔內顆粒，水準、震動、和對位等線上測試。

2. 可擕式氣體奈米顆粒計數器和收集器，對機台和腔體內環境以及小至4.5 nm的顆粒物進行快速定量測試，並將測試後的顆粒污染物進行收集，以便用於進一步的物質鑒定。

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