CYBEROPTICS 無線微粒偵測儀

CYBEROPTICS APS
APS3 無線微粒偵測儀
APS3 無線微粒偵測儀

APS3 無線微粒偵測儀

APS3 (Airborne Particle Sensor)
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產品特點及優點 產品規格 產品應用

1. 此產品衞利只銷售面板業。

2. 產品特色:

  • 類晶圓大小可直接放置在玻璃上或設備中測試生產環境及產品Particle。
  • 利用藍芽無線即時傳輸資料到電腦。
  • 技術人員可對整個機台的運作軌跡進行資料標註，便於分析查找原因。
  • 測試數據圖形化可直接轉換成報告，無須額外作圖。
  • 可應用在真空設備量測監控Particle。

3. 產品優勢:

  • 體積小、重量輕、攜帶方便。
  • 直接緊貼產品。
  • 可量測 Chamber 死角。
  • 可應用在真空設備。

4. 影片: https://www.youtube.com/watch?...

  • 重量：150mm (122g); 200mm (139g); 300mm (190g) (± 7%)。
  • 檢測顆粒：0.1um、0.5um；2.0um、5.0um、10.0um、 30.0um。
  • 流量： 0.07CFM (2.0 L/min)@ 1 atmosphere。
  • 壓力範圍：0~1.6 大氣壓。
  • 操作溫度：15 °C ~ 45 °C 。
  • 電池使用時間：約1小時 (連續使用下) 。
  • 外殼：碳纖維複合材料。
  • 連接：藍芽, Class1, 2.4G。
  • 校準：建議每年返廠校準一次。

  • TFT - LCD 顯示器各製程設備顆粒 diagnostic and monitor。

  • OLED , Mini/Micro led 各製程設備顆粒 diagnostic and monitor。
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