• 顆粒物濃度可測範圍 : 10³ ~ 10¹⁰ particles /mL 。

• 檢定單位體積流量 : 1 - 5μL /min 。

• 量測粒徑: 10nm、15nm、20 nm (粒徑限度定義為50%計數效率粒徑)，用戶可選擇。

• 粒徑通道數 : 1-3通道 ，用戶可選擇。

• 粒徑通道調整穩定時間 : 2-5 分鐘。

• 總進樣液體流量 : 50 - 280 mL /min。

• 濃度變化回應時間 : < 30 seconds。

• 進樣水壓範圍 : 100-200 kPa (15-30 psi) 。

• 壓縮空氣（氮氣）氣壓及流量 : 2.5 std L /min , 340 - 410 kPa (50-60 psi)。

• 壓縮空氣品質標準: ANSI IS08573-1:2010 Class 2 for compressed air

• UPW中不可揮發性殘留物濃度上線: 200 ppt at 10 nm限度粒徑, 1 ppb at 20 nm

• 濕面材質: PFA, PTFE, PEEK, 藍寶石, 316L不銹鋼

• 工作液: 試劑級正丁醇(n-Butyl alcohol)

• 工作液使用量: 約150 mL/day

• 外部尺寸規格(⾧x 寬x 高): 42 × 43 × 27 (43 包括工作流體瓶) cm, 16.7 × 16.8 × 10.5 (16.8 包括工作流體瓶) inches

• 重量: 16.1 Kg (35.5 lbs)

• 顯示幕: 7 英寸TFT Color, 觸控式螢幕