產品目的: 測試氣體(CDA或N2)中奈米顆粒汙染物 

產品功能: 

• 氣體品質監控
• 半導體機台內氣體顆粒物監測
• 氣溶膠顆粒物研究
• 科研院所
• 材料測試
• FILTER 性能驗證
• 高潔淨度組件和清洗機潔淨度品質監控
• EFEM和FOUP 、有潔淨度要求的環境中氣體品質監控
• 測試範圍: >7nm