超薄型振動量測儀

超薄型振動量測儀

超薄型振動量測儀

Ultra-Thin Vibration Sensor

1. 此產品為微程式資訊研發,衞利經銷。

2. 「超薄型振動量測儀」用於檢測科技廠自動化產線中,產品運載過程是否出現異常外力干擾或跳動,以數據化檢驗設備製程,採無線設計,其輕薄外型(厚度僅3mm)可隨產品深入製程設備,即時反應感測數值,不必拆機即可量測,有效減少產線設備保養成本與人力,縮短維護流程。可應用於半導體廠、光電面板廠等產業之自動化製程機台。

3. 產品優點:

  • 輕薄外型,厚度僅3mm
  • MEMS型振(震)動感測器:3軸感測
  • 表面PEEK材質,耐磨耐酸鹼
  • 採無線傳輸設計,方便使用
  • 即時藍芽傳輸取樣率可達 2048 Hz
  • 至多支援4個感測器同時連線
  • 可標記事件時間戳記並可重複載入
  • 加速度、速度、位移量之OA值(Overall Value)顯示
  • 搭配分析軟體,可顯示波形比較、疊圖分析、STFT、Power Spectrum等資訊
  • 支援統計特徵計算,可存檔便於後續分析報告產出


請見型錄。

  • 半導體或面板自動化製程設備
  • 自動化運送之產線
  • 晶圓或面板機械手臂之乘載