手持式氣體奈米粒子檢測和收集器

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產品特點及優點 產品規格 產品應用
  • 適用於­EFEM, FOUP, 機台內的氣體顆粒測試
  • 採用UPW為工作液, 可以在廠內安心使用
  • 測量範圍: 4.5nm 以上
  • 實時性高, 響應時間< 0.5秒
  • 可以將測試的氣體經由收集器然後由ICP-MS, GC-MS進行分析
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